实验名称：基于积分器的压电陶瓷执行器位移自感知的实验验证

　　测试设备：电压放大器、压电陶瓷执行器、积分器、电容位移传感器、低通滤波器、计算机等。

　　实验过程：

　　图1：基于积分器的压电陶瓷执行器位移自感知实验系统

　　实验系统如图1所示，由计算机、A/D及D/A数据采集卡、电压放大器、二级隔振工作台、压电陶瓷执行器、积分器、放电回路、电容位移传感器、减法放大器、低通滤波器组成。其中铜片、电容位移传感器、减法放大器、低通滤波器构成独立的测试系统，用来同基于积分器的压电陶瓷位移自感知执行器的感知结果进行比较。

　　实验结果：

　　图2：驱动电压波形不同时积分器检测的电荷和电容位移传感器检测的位移

　　图2（a）一2（f）示出了驱动频率为5Hz、驱动电压为幅值衰减的正弦波、幅值衰减的三角波和任意波形时，积分器检测的电荷和电容位移传感器检测的位移。

　　由图2各图可见，积分器和电涡流位移传感器各自独立获得的执行器位移曲线的一致性较好。可见，基于积分器的自感知方法能够很好地检测出压电陶瓷执行器的位移信号。

　　电压放大器推荐：ATA-2161

　　图：ATA-2161高压放大器指标参数

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