等离子技术是利用等离子体获得高温热源的一项技术。在化学工业中，利用等离子技术能实现一系列的反应过程。而等离子清洗作为一种材料表面处理的高科技设备，目前被广泛应用于材料表面清洗、活化、涂层、刻蚀等方面，可以帮助工程师更高效的完成工作内容。

那么等离子清洗的具体原理是什么呢？功率放大器在此领域是如何应用的？

密闭的反应腔体（真空室、真空腔体）被真空泵不断抽气，从1个标准大气压下降到设定的压力值并维持真空度；通入氩、氢、氮气等工艺气体，启动等离子发生器，让反应腔体内电极之间产生高压交变电场，使得自由电子能量加速，去激发工艺气体分子形成等离子体，具有高反应活性或高能量的等离子体，会与有机污染物及微颗粒污染物反应、碰撞形成各种挥发性物质，这些挥发性物质伴随工艺气流由真空泵抽取出去，从而达到被处理对象表面清洁、活化等目的。

等离子清洗是利用等离子将附着在基板表面的油等有机物分解、汽化的清洗技术。除了是一种不使用水或清洁溶液的干燥清洁方法外，它还提供高水平的清洁，不会留下任何残留物。

等离子清洗还可以通过破坏分子键并用羟基修饰来使被处理物体表面亲水。在半导体制造过程中，它还用于为图案化的 PDMS（二甲基聚硅氧烷）表面增加亲水性，以提高图案附着力。

等离子清洗的具体优势

等离子清洗技术具有很多优势，首先它十分环保，此技术利用气固相干式反应，无化学添加，不消耗水资源；其次，它应用范围广，无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料都可以进行处理；同时它功能强大，可以在处理材料时保留其自身特性并赋予新功能；最后的最后它成本低廉且全过程可控，可以帮助企业更好进行清洗加工工作。

针对等离子清洗相关的驱动问题，AigtekJN江南sports电子特提供了信号发生器（ATG-2000系列功率信号源）+高压放大器（ATA-7025）的测试方案。

ATA-7025高压放大器

高压放大器和信号发生器都需要具有高性能和高品质的输出波形：一方面是良好的稳定性能，输出波形失真小，并且信号发生器还需要能产生多种波形信号；另一方面是良好的动态性能，调幅调频方便，负载适应性好，此外有些测试除了需要信号发生器提供输出电压外，还需要功率输出。

ATA-7025高压放大器是Aigtek公司生产交直流高压电源产品，电压可达5kVp-p（±2.5kVp），，同时具有过流、过温保护功能。适用于驱动高压型负载，可放大交、直流信号，输出电流30mA，电压增益数控0~1000倍可调，结合液晶面板增益的显示，能够快速调整至需要的电压值，一键保存常用设置，可与任意品牌信号发生器配套使用，实现任意波形信号的完美放大。

1/1000Monitor：此端口电压为输出端口的1/1000，监测口为BNC接头，可以直接连接到示波器进行输出电压的实时监测。

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